德國ADL離子源電源09Z011 GG 12 Beam

德國ADL離子源電源09Z011 GG 12 Beam

?一、 公司及產品概述?

• ?公司信息?：ADL Analoge & Digitale Leistungselektronik GmbH，位于德國達姆施塔特（Darmstadt），自1992年起運營。

• ?產品用途?：為離子束和等離子體工藝技術提供電源，廣泛應用于蝕刻、濺射等領域，特別是在微電子、光學和傳感器等創新應用中。

• ?核心特點?：所有電源單元均提供模擬或數字接口，并可根據客戶需求定制其他輸出電壓或輸出功率。

?二、 產品系列及主要型號?
手冊列出了多個電源型號，按功能主要分為以下幾類：

1. ?加速器電源 (Accelerator)?：

• ?GG 03?：輸出功率300W，輸出電壓-1000V，輸出電流300mA。

• ?GG 03.1?：輸出功率30W，輸出電壓-1000V，輸出電流30mA。

• ?GG 08?：輸出功率800W，輸出電壓-1000V，輸出電流800mA。

2. ?束流電源 (Beam)?：

• ?GG 12?：輸出功率1.2kW，輸出電壓+2000V，輸出電流1A。

• ?GG 12.1?：輸出功率200W，輸出電壓+2000V，輸出電流100mA。

3. ?中和器電源 (Neutralizer)?：

• ?GIP 10?：輸出功率990W，輸出電壓33V，輸出電流30A。

• ?GIP 10.1?：輸出功率25W，輸出電壓25V，輸出電流1A。

4. ?放電電源 (Discharge)?：

• ?GDI 09?：輸出功率900W，輸出電壓150V（對地浮動2kV），輸出電流6A。

5. ?陰極電源 (Cathode)?：

• ?GC 10?：輸出功率1kW，輸出電壓35V（對地浮動2kV），輸出電流30A。

?三、 通用技術規格?

• ?顯示與控制?：大多數型號配備3?位數碼管，用于顯示電壓和電流。操作模式為電流或電壓控制（部分型號支持功率控制），可通過前面板手動設置或通過控制接口外部設置。

• ?設定點與精度?：設定范圍為標稱值的0-100%，輸出電壓或電流的輸出精度為標稱值的±1%。

• ?電源輸入?：標準為230V AC（±10%），50/60Hz，帶保護接地（PE）。功耗根據型號不同，從100VA到1500VA不等。

• ?冷卻與機械?：

• 采用內置風扇進行風冷，環境工作溫度為40°C。

• 運行噪音低于70 dB(A)。

• 標準機箱尺寸：寬度218mm（半19英寸），高度132.5mm（3HU），深度560mm。

• 重量（不含包裝）：11kg。

?四、 控制接口選項?
手冊提供了多種可選的控制接口模塊，包括：

• ?AS4?：模擬接口，用于U、I或P調節。

• ?AS4F?：快速數據傳輸的模擬接口。

• ?AS6?：模擬接口，用于U、I、P限制設定。

• ?Profibus DP?

• ?EtherCAT®?

• ?RS232/485

ADL09Z001

ADL09Z002

ADL09Z005

ADL09Z011

ADL09Z012

ADL09Z021

ADL09Z022

ADL09Z031

ADL09Z051

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